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誠南工業株式会社は真空装置の設計製作を行っております。

〒559-0011 大阪市住之江区北加賀屋4丁目3番24号
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ホール効果測定装置HALL EFFECT MEASURING DEVICE

ホール効果測定装置(AC/DC低温タイプ)　SE-HAEMD-AC-L

ホール効果測定装置AC低温
●概要
・半導体試料の基礎物性評価装置です。
・試料をセットし、付属のPCからの操作により、制御実行が行われ、抵抗率・キャリータイプ　キャリアー濃度・移動度の演算結果が表示されます。
・ばね板プローブにより電気接触を確保する方式ですので、ワイヤホンダは不要です。
・AC測定及び低温(90K)での測定が可能です。
・研究内容、ご使用の状況に合わせて、設計製作いたします。
ホール効果測定装置温度可変型 (カタログ)
●装置構成及び仕様 

　・計測ユニット部
　　ホール効果測定方法：Van der Pauw法による
　　測定(標準)交流磁場によるAC測定(オプション)
　　試料印加電圧：±100V未満
　　最高分解能：1nV(10mV入力レンジにて）
　　電圧計入力インピーダンス：10GΩ以上
　　抵抗測定範囲：10-5Ω～106Ω(標準）
　　(高抵抗オプションあり)
　　※計測対象の膜厚が1μm程度の場合
　　ホール移動度計算可能範囲：10-2～106㎠/V/s
　　※単士官抵抗値が105Ω未満の場合
　　計測方法：制御用PCからの自動実行及び表示

　・電磁石
　　最大磁場強度：±0.4T以上
　　磁場均一性：中心位置φ7(㎜)にて±1%以内

　・冷凍機
　　温度範囲：90K~室温(標準)
　　(高温・低温オプションあり)
　　温度安定度：±0.1K以内

　・その他
　　サンプル形状：□5㎜(その他サイズも対応可）
　　必要電力：100V/20A×1系統
　　　　　　　　　および200V/50A×1系統
　　制御：PC制御により試料セット後は自動測定
　　(印加電流/電圧、電流/電圧測定、磁場、
　　　　　　　　　　　　　　　温度の自動制御）
　　演算処理：測定結果より、抵抗率、
　　　　　　　キャリアタイプ、キャリア濃度、
　　　　　　　移動度、自動演算
　　その他：自動でオーミック特性を確認
　　　　　　制御プログラムにより測定時定数を
　　　　　　自動調整
　　　　　　測定後のすべてのデータをテキスト
　　　　　　形式で保存

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